toone氣浮隔振光學平臺(科研級)
應用領域:?
適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用
產品特點:?
◆公司依托于航空工業人員背景研發制造的具有負載能力強、剛性強、穩定性高、隔振效果好的科研級氣浮隔振光學平臺。?
◆優異的隔振性能:內置精密空氣彈簧隔振系統,具備優秀的固有頻率,對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果,避免外界振動干擾設備儀器精度,提高儀器設備使用精度和使用效率。?
◆自動調節水平功能:放置負載的位置發生變化,平臺迅速通過高精度閥門自動調整空氣彈簧內部的氣壓,自動保持水平。氣動元器件全部執行德國 FESTO 產品,標配進口無油壓縮機。?
◆臺板采用蜂窩芯夾板結構,具有重量輕、高剛度、高阻尼等優點,上面板為 1cr17 優質高導磁不銹鋼,經精密研磨處理,平面度高,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、亞光效果, 面板具有M6螺紋孔陣列,易于固定光學元件。?
◆隔振支撐為優質鋼管焊接而成,整體堅固穩定。?
◆工作壓力為?0.35~0.6Mpa,標準配置調壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作,用戶只需要將氣管連接進氣口,就能使裝置正常發揮隔振功能,氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給,便于在安靜場合使用。
技術參數:
平面度: | < 0.05mm/m2 |
M6螺紋孔/孔間距 | 25X25mm |
表面粗糙度 | < 0.8μm |
固有頻率 | 水平方向:1.0Hz~1.5Hz;垂直方向:1.0Hz~1.5Hz |
減振效率 | 水平方向> 5Hz 時:88%~94% ?; 垂直方向<5Hz 時:86%~92% 水平方向<10Hz時:92%~98% ?; 垂直方向<10Hz時:90%~95% |
振幅 | < 1μm |
重復定位精度 | ±0.05mm |
荷載能力 | 800kg/m2 |
?產品型號:(可根據客戶要求定制不同尺寸)
型號 | 規格(mm) | 支撐數量 | 面板厚度 | 臺面厚度 | 螺紋孔/孔距 |
ZI-QF-06-06 | 600x600x800 | 4 | 6mm | 50mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-075-075 | 750x750x800 | 4 | 6mm | 50mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-09-06 | 900x600x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-10-08 | 1000x800x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-12-08 | 1200x800x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-12-09 | 1200x900x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-15-09 | 1500x900x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-16-10 | 1600x1000x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-15-12 | 1500x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-18-10 | 1800x1000x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-18-12 | 1800x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-20-10 | 2000x1000x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-20-12 | 2000x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-24-12 | 2400x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-30-12 | 3000x1200x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-30-15 | 3000x1500x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-35-15 | 3500x1500x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-40-15 | 4000x1500x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-50-15 | 5000x1500x800 | 10 | 10mm | 300mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-60-15 | 6000x1500x800 | 12 | 10mm | 300mm | M6/25X25mm |
?