Raith EBL光刻機隔振方案
ARISMD主動隔振系統/主動式減震臺/主動防震臺,模塊化主動隔振系統,可采用填充式安裝方式,適用于大型光刻機、球差透射電子顯微鏡、EBL電子束曝光機.......
背景:微電子微納米加工應用
使用單位:Infinroe
設備型號:Raith EBPG5200 Plus
隔振方案:ARISMD1000 Pro主動隔振系統/主動式減震臺/主動防震臺
ARISMD Pro主動隔振系統/主動減震系統/主動防震系統
緊湊型模塊化主動隔振系統,能夠抵消影響超高精密設備或工具的振動,多個獨立的隔振器可承受高達4000Kg的大型設備負載,安裝簡易靈活,無需抬高及重新校準。
主要優勢:
?1. 6自由度隔振
?2. 0.5Hz開始隔振有效增益
?3. 可變阻尼
?4. 內置人工智能功能
?5. 主動隔振頻率范圍可調整
?6. 遠程控制
?7. 內置實時診斷工具(頻譜分析儀、示波器)
?8. 震動模式(可選)
應用領域:
?1. 電子顯微鏡(SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam)
?2. 半導體測試設備(光刻機、晶圓測試儀、電子束曝光機、CD_SEM)
?3. 掃描隧道顯微鏡/STM、掃描探針顯微鏡SPM、大型原子力顯微鏡/AFM
?4. X-Ray、CT、MPI
?......
規格參數:
Model/型號 | ARISMD300 Pro | ARISMD500 Pro |
Dimensions/規格(mm)
| 230x230x75 230x270x75 | 230x230x75 230x270x75
|
Load Capacity(Kg)
| 100-300 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited | 200-500 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited |
Actuaotor Force/制動器力
| Vertical = 150N ?; Horizontal = 75N |
Active Isolation Range/主動隔振頻率
| 0.5-100Hz
|
Architecture/結構
| MVIS - Multi-layer Vibration Isolation Structure/MVIS-多層隔振結構 |
Degrees of Freedom/自由度
| 6 degrees |
Vibration Isolation Performance/性能
| ~8db gain on 1Hz? ~20db gain on 2Hz |
Setting Time/響應時間
| ≤0.1 sec |
Real-Time Diagnostic Tools 實時診斷工具
| Built-in Real-Time 2 channels Oscilloscope, Real Time 2 channel Spectrum Analyzer
|
Real-Time performance adjustment 實時性能調整工具
| Adaptive Control in ALL 6 degrees of freedom in real-time. Remote Access
|
Input Voltage/電壓
| AC 80-260V/50-60Hz
|
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